松本 歩助教、橋口達希さん（化学工学専攻 博士前期課程2年）、八重真治教授の研究論文「Gold- and Silver-Nanoparticle-Assisted Etching of p-Si and n-Si: A Discussion of Etching Behavior Based on Polarization Curves」が電気化学会Electrochemistry誌のEditor’s ChoiceおよびCover Artに選出されました

2025年3月14日 最終更新日時 : 2025年3月14日 姫路工業倶楽部

新たな半導体微細加工技術として、金属援用エッチングが注目されています。本研究では、金または銀ナノ粒子を触媒としてp型およびn型シリコンの金属援用エッチングを行い、全面腐食を含むエッチング挙動の違いを明らかにしました。また、エッチング中のシリコンの電位や分極特性を測定し、それらに基づいてエッチング挙動の違いを考察しました。本研究の成果は、金属援用エッチングの加工精度の向上やメカニズムの解明に寄与すると考えられます。 論文URL カバーアートURL

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